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Product Line Size Range Chart

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SURF-CAL^TM 粒子沉积标准，0.047至3um
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用于半导体工业的SURF-CAL^TM 微粒产品，作为粒子表面附着标准，为标定专门检测裸露半导体硅晶片表面的扫描检测系统（SSIS）提供了经济、有效、和可靠的方法，粒子粒径纵贯0.047到3.0微米。该产品是NIST可溯源检测的聚苯乙烯悬浮微粒，微粒的浓度最优化到可以雾化沉积到晶片的表面。

当采用传统的粒子表面附着系统时，浓度为每毫升3×10⁸个粒子的SURF-CAL^TM悬浮液产品可在30－60秒中将每平方厘米6到10个粒子附着到200mm的晶片表面上。浓度为每毫升1×10¹⁰个粒子的SURF-CAL^TM悬浮液产品则最适于应用于采用粒子排除技术的附着系统，使用这种方法时的附着时间和浓度是变化的。

悬浮液的洁净程度非常高，从而将杂物残留在粒子或晶片表面的可能性减少到了最低程度，便于扫描仪在整个操作过程中的标定。由于产品含有极低的不挥发固体含量， SURF-CAL也用于其它气态分散粒子的测量。洁净的悬浮液也有助于在图案晶片、蚀刻蒙片和刻度板以及磁盘驱动方面的粒子检测。

产品特征

NIST可溯源标准

协助半导体单晶片生产厂（Fab) 和Fab供应商之间的检测相容性

粒径模式（峰）

与使用表面扫描仪相匹配的测量技术

可以在不同沉积方法上使用的浓度

消除悬浊液稀释的误差和试验
每小时更多的晶片
快速晶片沉积

适合常年使用

不需要更换仪器标定
优质的程序控制

超低不挥发残余物

低平干净的背景和基准线
洁净悬浮液适用于气态
不需要沉积系统的粒子的进一步分离

使用期限

保证样品稳定和结果可再现性

洁净包装

外包装以内的洁净包装
便于在洁净区域易打开和使用的包装。

Duke科学公司的经验

最准确的粒径表征
产品可信赖
30年的粒子科学技术
专业技术服务

MSDS (PDF) Product Bulletin (PDF)

Catalog Number (particles per mL)				Size Distribution
3 x 10⁸	1 x 10¹⁰	Certified Peak Diameter	Expanded Uncertainty (of Peak Diameter)	Standard Deviation	CV%	FWHM%^*
*Aqueous Suspension, 50mL Package*
PD-047	PD-047B	0.047µm	0.002µm	0.004µm	7.5%	17.4%
PD-064	PD-064	0.064µm	0.002µm	0.003µm	5.4%	10.9%
PD-070	PD-070B	0.072µm	0.002µm	0.005µm	7.2%	16.2%
PD-080	PD-080B	0.080µm	0.005µm	0.006µm	7.0%	12.8%
PD-083	PD-083B	0.083µm	0.002µm	0.004µm	4.2%	9.6%
PD-090	PD-090B	0.089µm	0.004µm	0.005µm	5.7%	9.6%
PD-092	PD-092B	0.092µm	0.004µm	0.004µm	4.6%	9.1%
PD-100	PD-100B	0.100µm	0.005µm	0.003µm	2.6%	5.2%
PD-110	PD-110B	0.114µm	0.005µm	0.004µm	3.3%	6.3%
PD-125	PD-125B	0.126µm	0.006µm	0.003µm	2.4%	4.8%
PD-155	PD-155B	0.155µm	0.003µm	0.003µm	1.6%	3.7%
PD-180	PD-180B	0.184µm	0.003µm	0.004µm	2.2%	3.9%
PD-200	PD-200B	0.202µm	0.007µm	0.004µm	1.8%	4.0%
PD-204	PD-204B	0.204µm	0.008µm	0.004µm	1.8%	3.7%
PD-215	PD-215B	0.220µm	0.007µm	0.003µm	1.6%	3.3%
PD-305	PD-305B	0.304µm	0.005µm	0.004µm	1.4%	3.4%
PD-365	PD-365B	0.360µm	0.013µm	0.005µm	1.3%	2.8%
PD-500	PD-500B	0.494µm	0.010µm	0.006µm	1.1%	2.5%
PD-800	PD-800B	0.809µm	0.014µm	0.006µm	0.8%	1.8%
PD-802	PD-802B	0.802µm	0.018µm	0.011µm	1.1%	2.4%
PD1100	PD1100B	1.112µm	0.018µm	0.011µm	1.0%	2.5%
PD1600		1.59µm	0.02µm	0.016µm	1.0%	2.6%
PD2000		2.01µm	0.04µm	0.019µm	1.0%	3.3%
PD2500		2.50µm	0.05µm	0.025µm	1.0%	2.9%
PD3000		3.04µm	0.06µm	0.026µm	0.9%	2.7%

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* Full Width at Half Maximum Height¹

所有的产品都悬浮于50mL包装瓶的过滤后的去离子水中，粒子浓度为每毫升3×10⁸个粒子。产品PD1100A或粒径更小的产品的浓度是每毫升1×10¹⁰个粒子，可用于需要移动差分型分析仪（DMA）或其它使用粒子排除原理的粒径分析仪。每个产品包装包括一个标准认定证书，NIST可溯源证明以及原材料安全系数表，”B”瓶的包装用于定购，请提前3-7个工作日。

测量方法学：为了保证NIST的直接可溯源检测，具有标定认证粒径的产品要经过NIST标准参照材料在电子和光学显微镜上检测。不确定性由NIST刊登于1994年编辑“评估或表达NIST技术测量结果不确定性指南”中的技术规范指导1297来计算。表中列出的不确定性是扩展型不确定性，具有覆盖因子K＝2。峰值粒径用接近±2σ范围内的粒径分布区域来计算，粒径分布是用整个峰的标准偏差来计算的。偏差系数是一个标准偏差，用峰值粒径的百分比来表示。FWHM分布用半峰高分布来计算，半峰高也用峰值粒径的百分比来表示。所有数字由不完整数据来计算，但完成于最终产品标定的数据。

1. SEMI M52 - Guide for Specifying Scanning Surface Inspection Systems for Silicon Wafers for the 130 nm Technology Generation.
2. Barry N. Taylor and Chris E. Kuyatt, "Guidelines for Evaluating and Expressing the Uncertainty of NIST Measurement Results."NIST Technical Note 1297, 1994 edition, September 1994.

SURF-CAL^™is a trademark of Duke Scientific Corporation

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Saturday, July 17, 2004

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